ModelsS-Closed loopK-Open loopP33.T2SP33.T2KP33.T3SP33.T3KP33.T4SP33.T4KP33.T5SP33.T5KP33.T6SP33.T6KP33.T8SP33 ...    More ...

Models
S-Closed loop
K-Open loop
P33.T2S
P33.T2K
P33.T3S
P33.T3K
P33.T4S
P33.T4K
P33.T5S
P33.T5K
P33.T6S
P33.T6K
P33.T8S
P33.T8K
Units

Active axes
θx, θy
θx, θy
θx, θy
θx, θy
θx, θy
θx, θy
 

Travel range(0~120V)
2.5（≈520"）
/±1.25(≈±260")
4（≈820"）
/±2(≈±410")
5（≈1030"）
/±2.5(≈±520")
6.8（≈1400"）
/±3.4(≈±700")
7.5（≈1550"）
/±3.75(≈±770")
10（≈2060"）
/±5(≈±1030")
mrad±20%

Travel range(0~150V)
3（≈600"）
/±1.5(≈±300")
5（≈1000"）
/±2.5(≈±500")
6（≈1200"）
/±3(≈±600")
8.5（≈1700"）
/±4.25(≈±850")
9（≈1900"）
/±4.5(≈±950")
12.5（≈2500"）
/±6.25(≈±1250")
mrad±20%

Integrated sensor
SGS/-
SGS/-
SGS/-
SGS/-
SGS/-
SGS/-
 

Closed/open loop resolution
0.05(≈0.01")
0.02(＜0.01")
0.15(≈0.03")
0.05(≈0.01")
0.25(≈0.05")
0.1(≈0.02")
0.35(≈0.07")
0.12(≈0.02")
0.45(≈0.09")
0.15(≈0.03")
0.5(≈0.1")
0.2(≈0.04")
μrad

Closed-loop linearity
0.1/-
0.15/-
0.2/-
0.25/-
0.25/-
0.25/-
%F.S.

Repeatability
0.02/-
0.02/-
0.02/-
0.02/-
0.02/-
0.02/-
%F.S.

Unloaded resonant frequency
3.7
3.5
3.4
3.3
3.2
3.1
kHz±20%

Closed/open-loop unloaded Step time
1.5/1
2.5/1.5
3/2
5/2.5
6/3.5
8/4
ms±20%

Operating frequency
10% Trave
1000
800
500
400
300
150
Hz±20%

100% Travel
80
60
40
30
25
15

Electrical capacitance
3.6/axis
5.2/axis
7.2/axis
9/axis
11/axis
14.5/axis
μF±20%

Material
Steel
Steel
Steel
Steel
Steel
Steel
 

Material
190
220
240
265
290
340
g±5%

L
37
46
55
64
73
91
 mm


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